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首页 >> 产品中心 >>高纯有机气体 >> 四氟化碳 CF4 高纯四氟化碳气体
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四氟化碳 CF4 高纯四氟化碳气体

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产品说明-021-69120234

产品名称:四氟化碳 四氟化碳气体 四氟甲烷 全氟化碳
产品等级:分析纯
产品纯度:99.999%
包装规格:40L
英文名称:carbon tetrafluoride
英文别名:Tetrafluoromethane
CAS:75-73-0
EINECS:200-896-5
分子式:CF4
分子量:88
物化性质:- 熔点:-184℃
相对密度:-128

用途:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂


产品参数-021-69120234

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我要询价

亲们,购买我司的气体要还需要注意一下环节哦!!

    相信了解气体行业的亲们都知道行规是连瓶带气购买,但为满足部分用户的需求,我司针对于只需要买气的亲们有以下方案:

(一)由于我们的钢瓶是可循环使用的标准无缝碳钢瓶,质量保证。如果亲不想购买钢瓶可以付一部分定金租用钢瓶,气瓶用完后由亲们归还寄回我公司,我司将计算租金退还其剩余定金。


(二)针对想购买钢瓶的客户,详情欢迎来电咨询,优惠多多哦!


(三)部分腐蚀性气体对钢瓶,阀门都有很高的要求,(如:氯化氢气体钢瓶阀门是不锈钢阀门)所以钢瓶价格也会不同哦,具体亲在购买这类气体的时候如需购买钢瓶欢迎咨询哦!


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亚帅情结-021-69120234

全程控制安全-购买放心

钢瓶选择:充装钢瓶为中国第一大钢瓶厂,保证钢瓶质量。

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全程控制安全-产品用途  

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子烛刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。
1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系,采用CF4-H2反应离子刻蚀时,通过调节两种气体的比例,可以获得45:1的选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。
2. 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、
泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

3. 由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

4. 四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功,在275米到366米的深度内,小白鼠仍可安全脱险。


全程控制安全-包装及存放

(一)包装—四氟化碳钢瓶
名称:钢质无缝气瓶 (执行标准GB5099\ISO9809)
 
(二)存放—四氟化碳
1. 气瓶使用和检验遵照国家质量技术监督局《气瓶安全监察规程》的规定。
2. 气瓶不得靠近火源,不得受日光曝晒,与明火距离一般应该不小于10米,气瓶不得撞击。
3. 气瓶的瓶子严禁沾染油脂。
4. 气瓶内的气体不能全部用尽,应该留不小于0.04MPa剩余压力。


全程控制安全-减压器

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联系电话:021-69120234、13701936498

上海市青浦区赵重公路2278号

官方微信

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